WOWアライアンス参加企業の支援のもとにユニット技術、モジュール技術、積層見本を装置材料のコンサルティングと合わせて提供します。

20ミクロン以下に薄化したデバイスウエハを制限なく積層できる技術を利用すれば、積層数に応じた集積度が得られます。